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Einrichtungen >> Technische Fakultät (TF) >> Department Elektrotechnik-Elektronik-Informationstechnik (EEI) >>
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Anschrift: Cauerstraße 6, 91058 Erlangen
Tel.:++49/9131/8528634Fax:++49/9131/8528698
E-Mail:info@leb.eei.uni-erlangen.de
www:http://www.leb.eei.uni-erlangen.de

In Kürze...

Forschungsschwerpunkte

  • Technologie und Simulation mikroelektronischer Bauelemente und Schaltkreise auf Silicium- und Siliciumkarbid (SiC)-Basis
  • Entwicklung von Prozessschritten

  • Entwicklung von Sensoren und Aktoren

  • Leistungselektronische und mechatronische Systeme

  • Halbleiterfertigungsgeräte und Materialien

  • Simulation von Geräten und Fertigungsschritten

  • Kontaminationsanalytik und Fehleranalyse

  • Ionen- und Elektronenstrahlfeinbearbeitung (FIB)

Weitere Informationen auch unter:

Forschungsrelevante apparative Ausstattung

  • Halbleiterprozesstechnik (1000m2 Klasse 100 Reinraum, 150mm Siliciumtechnologie, 0,8µm CMOS-Prozess, Sonderprozesse bis Scheibengrösse 300mm verfügbar, Labor für Ionenimplantation)
  • Elektrische Messtechnik (u.a. Bauelementecharakterisierung mit manuellen und automatischen Waferprobern, Lebensdauermesstechnik (Elymat, µ-PCD), Oxidcharakterisierung, Elektronenstrahltester)

  • Physikalische und chemische Analytik (FIB, REM, TEM, AFM, SIMS/SNMS, XPS, RBS, div. massenspektrometrische Verfahren, TXRF(TRFA), optische Partikel-/Defektkontrolle)

  • Parallelrechner, Workstations für Simulation und Design, Entwicklungswerkzeuge für Anlagen- und Messplatzsteuerungen (SieFuzzy, SieMatic, µC Entwicklungsumgebung, LabView)

Kooperationsbeziehungen

vielfältige Kooperationen im In- und Ausland, u.a.:

  • Infineon Technologies (München, Villach)

  • Nanoworld Services (Erlangen)

  • ELMOS (Dortmund)

  • ZMD (Dresden)

  • Texas Instruments, Freising

  • Universitäten: Osaka (Japan), Trient (Italien), Bochum, München (UniBW), Zürich (ETH), IIT Kharagpur (Indien), North Carolina State University (USA)

  • Ungarische und Russische Akademien der Wissenschaften

  • Forschungsinstitute: Fraunhofer IISB (Erlangen), IMEC (Leuven, Belgien), CEA-LETI (Grenoble, Frankreich), Tyndall Research Institute (Cork, Irland)

Veröffentlichungsreihen

Jahresberichte des Lehrstuhls unter http://www.leb.eei.uni-erlangen.de/lehrstuhl/jahresberichte/index.php

Sekretariat
Annette Göhler
Andrea Merkel

Wiss. Mitarbeiter
Matthäus Albrecht, M. Sc.
Zelalem Tamrate Belete, M. Sc.
Dr. Svetlana Beljakowa
Dr.-Ing. Tobias Dirnecker, Akad. ORat
Martin Ellinger, M. Sc.
Birk Fritsch, M. Sc.
Dr.-Ing. Andreas Hutzler
Julius Marhenke, M. Sc.
Christian Martens, M. Sc.
Michael Niebauer, M. Sc.
Thomas Schriefer, M. Sc.
Tobias Stolzke, M. Sc.
Julietta Weiße, M. Sc.
Dawei Zhao, M. Sc.

Ältere Forschungsprojekte

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