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Übung zu Optical Lithography
Dozent/in
PD Dr. rer. nat.
Andreas Erdmann
Angaben
Übung
2 SWS, Sprache Deutsch, Für Master AOT verpflichtende Zusatzveranstaltung, für andere Studiengänge freiwillig
Zeit und Ort: Mi 12:00 - 14:00,
AOT-Bibliothek
; Bemerkung zu Zeit und Ort:
On 29th Oct, 19th Nov and 10th Dec the course starts only at 13.00.
Studienfächer / Studienrichtungen
WF AOT-GL ab 1
Zusätzliche Informationen
Erwartete Teilnehmerzahl: 10
Zugeordnet zu:
Optical Lithography: Technology, Physical Effects, and Modelling
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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