Informationssystem der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
© Config eG
Sammlung/Stundenplan
Modulbelegung
Home
|
Rechtliches
|
Kontakt
|
Hilfe
Suche:
Personen
Einrichtungen
sonstige Einträge
Lehrveranstaltungen
Module
Räume
Publikationen
Forschungsprojekte
Internat. Kontakte
Stellenangebote
Möbel-/Rechnerbörse
Examensarbeiten
Semester:
WS 2024/2025
SS 2024
WS 2023/2024
SS 2023
WS 2022/2023
SS 2022
WS 2021/2022
SS 2021
WS 2020/2021
SS 2020
WS 2019/2020
SS 2019
WS 2018/2019
SS 2018
WS 2017/2018
SS 2017
WS 2016/2017
SS 2016
WS 2015/2016
SS 2015
WS 2014/2015
SS 2014
WS 2013/2014
SS 2013
WS 2012/2013
SS 2012
WS 2011/2012
SS 2011
WS 2010/2011
SS 2010
WS 2009/2010
SS 2009
WS 2008/2009
SS 2008
WS 2007/2008
SS 2007
WS 2006/2007
SS 2006
WS 2005/2006
SS 2005
WS 2004/2005
SS 2004
WS 2003/2004
SS 2003
WS 2002/2003
SS 2002
WS 2001/2002
SS 2001
WS 2000/2001
SS 2000
WS 1999/2000
SS 99
WS 98/99
SS 98
WS 97/98
SS 97
WS 96/97
Darstellung
Druckansicht
Außerdem im UnivIS
Vorlesungs- und Modulverzeichnis nach Studiengängen
Vorlesungsverzeichnis
Veranstaltungskalender
Stellenangebote
Möbel-/Rechnerbörse
Nanotechnologie (Master of Science)
>>
Bitte aktivieren Sie Javascript in Ihrem Browser, um die Funktionalität dieser Seite voll nutzen zu können.
Übung zu Optical Lithography
Dozent/in
PD Dr. rer. nat.
Andreas Erdmann
Angaben
Übung
Online
2 SWS, Sprache Deutsch, Für Master AOT verpflichtende Zusatzveranstaltung, für andere Studiengänge freiwillig
Zeit: Di 16:15 - 17:45,
BR 1.161
; n.V.
Studienfächer / Studienrichtungen
WF AOT-GL ab 1
PF NT-MA 1
WF EEI-BA ab 5
WF EEI-MA ab 1
Zusätzliche Informationen
Erwartete Teilnehmerzahl: 2
Zugeordnet zu:
Optical Lithography: Technology, Physical Effects, and Modelling
Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
Startsemester WS 2020/2021
:
Kernfach Mikro- und Nanostrukturforschung für MWT (MNF_M1_MWT)
Optical Lithography (OLITHO)
Top-Down Nanostrukturierung (Nano_Top_Down)
Institution:
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
UnivIS ist ein Produkt der
Config eG
, Buckenhof