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Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science) >>
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Halbleiter- und Bauelementemesstechnik (HBMT-V)- Dozentinnen/Dozenten
- Dipl.-Ing. Andreas Hürner, Dipl.-Ing. Sebastian Polster
- Angaben
- Vorlesung
3 SWS, benoteter Schein, ECTS-Studium, ECTS-Credits: 5
nur Fachstudium, Sprache Deutsch, Die Übung ist in die Vorlesungseinheiten integriert.
Zeit und Ort: Di 8:15 - 11:45, Hans-Georg-Waeber-Saal
- Studienfächer / Studienrichtungen
- WPF WW-DH-MIC ab 6
WPF EEI-BA-MIK 5-6
WPF EEI-MA-MIK 1-4
WPF ME-DH-VF11 ab 6 (ECTS-Credits: 4,5)
WPF ME-BA-MG4 5-6
WPF ME-MA-MG4 1-3
WPF MWT-MA-MIC ab 1
WF MWT-BA 5-6
WPF NT-MA ab 1
- Inhalt
- In der Vorlesung Halbleiter- und Bauelementemesstechnik werden die wichtigsten Messverfahren, die zur Charakterisierung von Halbleitern und von Halbleiterbauelementen benötigt werden, behandelt. Zunächst wird die Messtechnik zur Charakterisierung von Widerständen, Dioden, Bipolartransistoren, MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren behandelt. Dabei werden die physikalischen Grundlagen der jeweiligen Bauelemente kurz wiederholt. Im Bereich Halbleitermesstechnik bildet die Messung von Dotierungs- und Fremdatomkonzentrationen sowie die Messung geometrischer Dimensionen (Schichtdicken, Linienbreiten) den Schwerpunkt.
- Empfohlene Literatur
- Vorlesungsskript
- ECTS-Informationen:
- Title:
- Semiconductor and Device Measurement Techniques
- Credits: 5
- Prerequisites
- none
- Contents
- The lecture Semiconductor and Device Measurement Techniques deals with the fundamental methods used to characterize
semiconductors and semiconductor devices. First, the measurement techniques needed to characterize resistors, diodes,
bipolar transistors, MOS capacitors, and MOS transistors are presented. The fundamental properties of each device are
repeated briefly. In the area of semiconductor metrology, measurement of dopand distributions, contaminant analysis, and
measurement of geometric dimensions (film thickness, line width) are emphasized.
- Literature
- Ryssel, H.: Halbleiter- und Bauelementemeßtechnik, lecture script (available at Chair of Electron Devices / available in course)
- Zusätzliche Informationen
- Schlagwörter: Halbleiterbauelemente, Messtechnik
Erwartete Teilnehmerzahl: 40
- Zugeordnete Lehrveranstaltungen
- UE: Übung zu Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
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Dozentinnen/Dozenten: Dipl.-Ing. Sebastian Polster, Dipl.-Ing. Andreas Hürner
Zeit und Ort: n.V.; Bemerkung zu Zeit und Ort: Termin der Übung ist vorläufig und wird in der ersten Semesterwoche in Absprache mit den Studenten festgelegt.
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester SS 2015:
- Halbleiter- und Bauelementemesstechnik
- Institution: Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
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