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Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)- Dozentinnen/Dozenten
- Dr.-Ing. Alexander Sutor, Dipl.-Ing. Dominik Gedeon
- Angaben
- Praktikum
4 SWS, Schein, ECTS-Studium, ECTS-Credits: 2,5, Sprache Deutsch, das Praktikum findet Di 09:00 - 12:00 Uhr im Raum 00.025, Konrad-Zuse-Str. 7 statt. Anmeldung über StudOn
Zeit und Ort: Di 10:00 - 12:00, SR 02.028; Bemerkung zu Zeit und Ort: Vorbesprechungen: von 10:00 - 11:00 Uhr am 07.10. und 14.10.2014 im Raum SR 02.028
- Studienfächer / Studienrichtungen
- WPF EEI-BA-AET 5-6
WPF EEI-BA-AUT 5-6
WPF EEI-MA-AET 1-4
WPF EEI-MA-AUT 1-4
WPF ME-DH-PEEI 5-7 (ECTS-Credits: 2,5)
- Inhalt
- Lernziel:
In diesem Praktikum sollen von Studierenden selbst die zur Herstellung piezoresistiver Sensoren notwendigen Technologieschritte anhand von praktischen Testmustern im Labor durchgeführt werden. Zur Definition von planarer Geometrie und Schichtenaufbau werden zunächst Photolitographie und Maskentechnik eingesetzt. Bei den Prozessen handelt es sich im wesentlichen um die Dünnschichttechnologie (Aufdampfen und Sputtern) zur Herstellung von metallischen Schichten sowie um die thermische Oxidation von Silizium und seine Dotierung mit Fremdatomen. Die Funktionstauglichkeit der Sensoren soll abschließend im Messlabor überprüft werden.
- ECTS-Informationen:
- Title:
- Sensor Technology Laboratory
- Credits: 2,5
- Contents
- Learning target:
In this course the students themselves should do the technical steps which are necessary for the fabrication of piezo-resistive sensors. Therefore, they will implement test designs given in the laboratory. Therewith, they will learn about photolithography and mask engineering first. Further process steps are thin film techniques (vacuum metallization and sputtering) to generate metalic as well as the thermal oxidation of silicon and the diffusion of various dopants. Finally, the functionality of the sensors should be checked in the laboratory.
- Zusätzliche Informationen
- Schlagwörter: Sensortechnologie; Piezoresisitive Sensoren; Photolithographie; Dünnschichttechnik; thermische Oxidation von Silizium; Diffusion; Test von Sensoren zwecks Spezifikationsüberprüfung
Erwartete Teilnehmerzahl: 12, Maximale Teilnehmerzahl: 12
Für diese Lehrveranstaltung ist eine Anmeldung erforderlich.
Die Anmeldung erfolgt von Freitag, 5.9.2014, 09:00 Uhr bis Sonntag, 5.10.2014, 00:00 Uhr über: StudOn.
- Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
- Startsemester WS 2014/2015:
- Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)
- Institution: Lehrstuhl für Sensorik
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