Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)2.5 ECTS
(englische Bezeichnung: Sensor technology Laboratiry)

Lehrveranstaltungen:

• • Praktikum Sensor-Technologie
    (Praktikum, 4 SWS, Alexander Sutor et al., Di, 10:00 - 13:00, SR 02.028; Vorbesprechung: 13.10.2015, 10:00 - 11:00 Uhr, SR 02.028)

Inhalt:

• Kraftsensor auf Basis des piezoresistiven Effekts

• Berechnung von Sensorparametern mit MATLAB

• Maskenlayout

• Maskentechnik/Photolithographie

• Nasschemisches Ätzen

• Schichtdickenbestimmung

• Topologiemessung

• Leitungstypbestimmung

• Diffusion/Oxidation/Dotierung

• Sensorcharakterisierung
  

Lernziele und Kompetenzen:

Die Studierenden

• Erarbeiten sich im Zuge der Vorbereitung die nötigen Fachkenntnisse für den jeweiligen Versuch

• Erläutern die verwendeten Verfahren anhand von Vorbereitungsfragen

• Wenden ihr Wissen auf die Auslegung eines Sensors an

• Erarbeiten in der Gruppe geeignete Lösungsansätze für gestellte Messaufgaben und evaluieren diese anhand der gewonnenen Daten

• Hinterfragen und evaluieren die vorgestellten Mess- und Herstellungsverfahren

• Überprüfen und beurteilen die Funktionsfähigkeit des hergestellten piezoresistiven Sensors
  

Bemerkung:

das Praktikum findet im Raum 00.025, Konrad-Zuse-Str. 7 statt

Weitere Informationen:

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
Das Modul ist im Kontext der folgenden Studienfächer/Vertiefungsrichtungen verwendbar:

1. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2007 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Allgemeine Elektrotechnik | Laborpraktika Allgemeine Elektrotechnik | Laborpraktikum Sensor-Technologie)
2. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2007 | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Automatisierungstechnik | Laborpraktika Automatisierungstechnik | Laborpraktikum Sensor-Technologie)
3. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science): 5-6. Semester
   (Po-Vers. 2009 | Studienrichtungen | Studienrichtung Allgemeine Elektrotechnik | Laborpraktika Allgemeine Elektrotechnik)
4. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science): 5-6. Semester
   (Po-Vers. 2009 | Studienrichtungen | Studienrichtung Automatisierungstechnik | Laborpraktika Automatisierungstechnik)
5. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science): 1-4. Semester
   (Po-Vers. 2010 | Studienrichtung Allgemeine Elektrotechnik | Laborpraktika Allgemeine Elektrotechnik)
6. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science): 1-4. Semester
   (Po-Vers. 2010 | Studienrichtung Automatisierungstechnik | Laborpraktika Automatisierungstechnik)
7. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
   (Po-Vers. 2015s | Masterprüfung | Studienrichtung Allgemeine Elektrotechnik | Hauptseminar und Laborpraktikum Allgemeine Elektrotechnik)
8. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
   (Po-Vers. 2015s | Masterprüfung | Studienrichtung Automatisierungstechnik | Hauptseminar und Laborpraktikum Automatisierungstechnik)

Studien-/Prüfungsleistungen:

Laborpraktikum Sensor-Technologie_ (Prüfungsnummer: 77001)

Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet

weitere Erläuterungen:
häusliche Vorbereitung, Durchfährung von Versuchen, Kolloquium

Erstablegung: WS 2015/2016, 1. Wdh.: SS 2016, 2. Wdh.: keine Wiederholung

1. Prüfer:

Reinhard Lerch