Praktikum Halbleitertechnologie (PrTech)2.5 ECTS
(englische Bezeichnung: Laboratory on Semiconductor Processing)

Lectures:

• • Praktikum Halbleitertechnologie
    (Praktikum, 3 SWS, Anwesenheitspflicht, Tobias Dirnecker et al., Preliminary meeting: 27.4.2022, 11:00 - 11:45 Uhr, 0.111)

Empfohlene Voraussetzungen:

• Grundkenntnisse zu Halbleiterbauelementen

• Modul HLT I - Technologie Integrierter Schaltungen empfehlenswert

Inhalt:

Das Praktikum Halbleitertechnologie vermittelt einen ersten praktischen Einstieg in die Halbleitertechnologie. Im Verlauf des Herstellungsprozesses einer Solarzelle werden die Herstellungsschritte Oxidation, Implantation, Lithographie, Ätzen und Metallisierung durchgeführt. Darüber hinaus werden wichtige Messverfahren zur Prozesskontrolle wie Schichtdickenmessverfahren, Schichtwiderstandsmessverfahren vorgestellt und zum Schluss die hergestellten Solarzellen an Hand ihrer Strom/Spannungs-Kennlinie elektrisch charakterisiert (Wirkungsgrad etc.).

Lernziele und Kompetenzen:

Fachkompetenz

Verstehen

verstehen die Funktionsweise von Solarzellen

Anwenden

können typische Prozessgeräte und Methoden der Prozesskontrolle in einer Halbleiterfertigung erklären

Analysieren

sind in der Lage, verschiedene Technologieschritte hinsichtlich ihrer Vor- und Nachteile zu analysieren

Lern- bzw. Methodenkompetenz

sammeln praktische Erfahrung im Umgang mit Halbleiterscheiben unter den besonderen Arbeitsbedingungen eines Reinraumes

Literatur:

• Praktikumsskripte

• Unterlagen zu den Modulen HLT I - Technologie integrierter Schaltungen und HL I - Bipolartechnik (am Lehrstuhl erhältlich)

• Götzberger, A., Voß, B., Knobloch, J.: Sonnenenergie: Photovoltaik, Teubner Verlag, Stuttgart, 1994

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
Das Modul ist im Kontext der folgenden Studienfächer/Vertiefungsrichtungen verwendbar:

1. Berufspädagogik Technik (Master of Education)
   (Po-Vers. 2018w | TechFak | Berufspädagogik Technik (Master of Education) | Gesamtkonto | Praktikum der Fachwissenschaft | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
2. Berufspädagogik Technik (Master of Education)
   (Po-Vers. 2020w | TechFak | Berufspädagogik Technik (Master of Education) | Gesamtkonto | Praktikum der Fachwissenschaft | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
3. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2007 | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Leistungselektronik | Laborpraktika Leistungselektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
4. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2007 | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Studienrichtungen (Wahlpflichtmodule) | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
5. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2009 | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Studienrichtungen | Studienrichtung Leistungselektronik | Laborpraktika Leistungselektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
6. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2009 | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Studienrichtungen | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
7. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2017w | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Studienrichtung Leistungselektronik | Laborpraktika Leistungselektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
8. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2017w | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
9. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
   (Po-Vers. 2019w | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Gesamtkonto | Studienrichtung Leistungselektronik | Laborpraktika Leistungselektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
10. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)
    (Po-Vers. 2019w | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science) | Gesamtkonto | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
11. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
    (Po-Vers. 2010 | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science) | Studienrichtung Leistungselektronik | Laborpraktika Leistungselektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
12. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
    (Po-Vers. 2010 | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science) | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
13. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
    (Po-Vers. 2015s | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science) | Gesamtkonto | Studienrichtung Leistungselektronik | Hauptseminar und Laborpraktikum Leistungselektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
14. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science)
    (Po-Vers. 2015s | TechFak | Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science) | Gesamtkonto | Studienrichtung Mikroelektronik | Hauptseminar und Laborpraktikum Mikroelektronik | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
15. Mechatronik (Master of Science)
    (Po-Vers. 2012 | TechFak | Mechatronik (Master of Science) | Mechatronik (Studienbeginn bis 30.09.2020) | Gesamtkonto | M5 Hochschulpraktika | M5 Hochschulpraktika | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
16. Mechatronik (Master of Science)
    (Po-Vers. 2020w | TechFak | Mechatronik (Master of Science) | Mechatronik (Studienbeginn ab 01.10.2020) | Gesamtkonto | M5 Hochschulpraktika | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)
17. Mechatronik (Master of Science)
    (Po-Vers. 2021w | TechFak | Mechatronik (Master of Science) | Mechatronik (Studienbeginn ab 01.10.2021) | Gesamtkonto | M5 Hochschulpraktika | Laborpraktikum Halbleitertechnologie)

Studien-/Prüfungsleistungen:

Laborpraktikum Halbleitertechnologie (Prüfungsnummer: 25181)

Studienleistung, Praktikumsleistung, unbenotet, 2.5 ECTS

weitere Erläuterungen:
Bestehen der Versuchsvortestate (Diskussion der Versuchsinhalte, ca. 45 Min, SL) Anfertigung von Versuchsprotokollen (Zusammenfassung der wesentlichen Ergebnisse der Vorbesprechung und Versuchsdurchführung, Umfang ca. 10 Seiten, PL) Bestehen des Abschlusstestats (Zusammenfassende Diskussion der Versuchsergebnisse, ca. 90 min, SL)

Erstablegung: SS 2022, 1. Wdh.: WS 2022/2023

1. Prüfer:

Tobias Dirnecker