|
Praktikum Halbleiter- und Bauelementemesstechnik2.5 ECTS (Prüfungsordnungsmodul: Laborpraktika Mikroelektronik)
Modulverantwortliche/r: Lothar Frey Lehrende:
Lothar Frey
Startsemester: |
SS 2012 | Dauer: |
1 Semester |
Präsenzzeit: |
45 Std. | Eigenstudium: |
30 Std. |
Lehrveranstaltungen:
Empfohlene Voraussetzungen:
Inhalt:
Im Praktikum zur Halbleiter- und Bauelementemesstechnik wird ein Teil der in der gleichnamigen Vorlesung besprochenen Messverfahren praktisch durchgeführt. Zu Beginn des Praktikums wird die Relevanz der Messtechnik zur Prozesskontrolle aber auch in der Bauelementeentwicklung anhand eines typischen CMOS-Prozesses erläutert. Im Bereich Halbleitermesstechnik werden dann Versuche zur Scheibeneingangskontrolle, zu optischen Schichtdicken- und Strukturbreitenmessverfahren, sowie zur Profilmesstechnik durchgeführt. Im Bereich Bauelementemesstechnik werden MOS-Kondensatoren und MOS-Transistoren, Dioden, Widerstände und spezielle Teststrukturen elektrisch charakterisiert.
Lernziele und Kompetenzen:
Die Studierenden können,
physikalische und elektrische Mess- und Analysemethoden im Bereich der Halbleiter- und Bauelementemesstechnik anwenden,
Teststrukturen und Bauelemente mit geeignenten Methoden charakterisieren und die Messergebnisse bewerten.
Literatur:
- Praktikumsskript
Dieter K. Schroder: Semiconductor Material and Devices Characterization, Wiley-IEEE, 2006
W.R. Runyan, T.J. Shaffner: Semiconductor Measurements and Instrumentations, McGraw-Hill, 1998
A.C. Diebold: Handbook of Silicon Semiconductor Metrology, CRC, 2001
Organisatorisches:
Durchführung als Blockpraktikum nach Absprache möglich
Weitere Informationen:
www: http://www.leb.eei.uni-erlangen.de/
Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:
- Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science): 1-4. Semester
(Po-Vers. 2010 | Masterprüfung | Studienrichtung Mikroelektronik | Laborpraktika Mikroelektronik)
Dieses Modul ist daneben auch in den Studienfächern "Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Bachelor of Science)" verwendbar. Details
Studien-/Prüfungsleistungen:
Laborpraktikum Halbleiter- und Bauelementemesstechnik_ (Prüfungsnummer: 75701)
- Prüfungsleistung, Studienleistung, unbenotet
- weitere Erläuterungen:
- Vorbereitung auf jeden Versuch
Teilnahme an allen Versuchen
Anfertigung von Versuchsprotokollen
Teilnahme am und Bestehen des Abschlusstesttats
- Erstablegung: SS 2012, 1. Wdh.: WS 2012/2013, 2. Wdh.: keine Wiederholung
|
|
|
|
UnivIS ist ein Produkt der Config eG, Buckenhof |
|
|