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  Rasterelektronenmikroskopie in Materialforschung und Nanotechnologie (REM_WW9(A))

Lecturers
Prof. Dr. rer. nat. habil. Erdmann Spiecker, Dr.-Ing. Thomas Przybilla, u.a.

Details
Vorlesung
Online/Präsenz
2 cred.h, ECTS studies, ECTS credits: 3, Sprache Deutsch
Time and place: Fri 08:15 - 09:45, 0.68; comments on time and place: Course will take place in person. For further information please join on StudOn: https://www.studon.fau.de/crs3339808_join.html .

Fields of study
WPF MWT-MA-MNF ab 1
WPF NT-MA ab 1
WF MWT-MA-EL ab 1
WPF MWT-MA-AWE ab 1

Contents
• Komponenten eines REM
• Elastische/inelastische Wechselwirkung Elektron-Probe, Wechselwirkungsvolumen, Sekundär-/Rückstreuelektronenerzeugung
• Kontrastmechanismen mit Bezug auf die verschiedenen Detektorsysteme
• Elektronenbeugung und ihre Anwendung im REM
• Rastertransmissionsmikroskopie (STEM)
• Quantitative Röntgenspektroskopie
• Fokussierte Ionenstrahlen (Dual-Beam FIB, He-Ionenmikroskopie)
• Präparationsspezifische Probleme
• Anwendungsbeispiele
(automatisch geplant, erwartete Hörerzahl original: 15, fixe Veranstaltung: nein)

ECTS information:
Credits: 3

Additional information
Expected participants: 15, Maximale Teilnehmerzahl: 30
www: https://www.studon.fau.de/crs3339808.html

Verwendung in folgenden UnivIS-Modulen
Startsemester WS 2022/2023:
Fundamentals of Micro- and Nanostructure Research NT (IMN_M6-NT)
Kernfach Mikro- und Nanostrukturforschung für MWT (MNF_M1_MWT)
Kernfach Mikro- und Nanostrukturforschung für NT (MNF_M6_NT)
Nebenfach Mikro- und Nanostrukturforschung für MWT (MNF_M2/M3_MWT)
Nebenfach Mikro- und Nanostrukturforschung für NT (MNF_M7_NT)
Scanning Electron Microscopy in Materials Science and Nanotechnology (IMN_M3/4/5/10/11-MWT_M10/11-NT_SEM)

Department: Chair of Micro- and Nanostructure Research
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