Praktikum Sensor-Technologie (SenTech)2.5 ECTS
(Prüfungsordnungsmodul: Laborpraktika Allgemeine Elektrotechnik)

Lehrveranstaltungen:

• • Praktikum Sensor-Technologie
    (Praktikum, 4 SWS, Alexander Sutor et al., Di, 10:00 - 12:00, SR 02.028; Vorbesprechung: 22.10.2013, 10:00 - 12:00 Uhr, SR 02.028)

Inhalt:

Lernziel:
In diesem Praktikum sollen von Studierenden selbst die zur Herstellung piezoresistiver Sensoren notwendigen Technologieschritte anhand von praktischen Testmustern im Labor durchgeführt werden. Zur Definition von planarer Geometrie und Schichtenaufbau werden zunächst Photolitographie und Maskentechnik eingesetzt. Bei den Prozessen handelt es sich im wesentlichen um die Dünnschichttechnologie (Aufdampfen und Sputtern) zur Herstellung von metallischen Schichten sowie um die thermische Oxidation von Silizium und seine Dotierung mit Fremdatomen. Die Funktionstauglichkeit der Sensoren soll abschließend im Messlabor überprüft werden.

Bemerkung:

das Praktikum findet im Raum 00.025, Konrad-Zuse-Str. 7 statt

Weitere Informationen:

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:

1. Elektrotechnik, Elektronik und Informationstechnik (Master of Science): 1-4. Semester
   (Po-Vers. 2010 | Studienrichtung Allgemeine Elektrotechnik | Laborpraktika Allgemeine Elektrotechnik)

Studien-/Prüfungsleistungen:

Laborpraktikum Sensor-Technologie_ (Prüfungsnummer: 77001)

Prüfungsleistung, Studienleistung, unbenotet

Erstablegung: WS 2013/2014, 1. Wdh.: SS 2014, 2. Wdh.: keine Wiederholung

1. Prüfer:

Reinhard Lerch