Produktion in der Elektrotechnik - Siliciumtechnologie (PRIDE)2.5 ECTS
(Prüfungsordnungsmodul: 10 Fertigungsautomatisierung und Kunststofftechnik)

Lehrveranstaltungen:

• Es werden 2 Einheiten der Vorlesung durch den Lehrstuhl für Photonische Technologien gehalten.

  • Produktion in der Siliciumtechnologie
    (Vorlesung, 2 SWS, Lothar Frey et al., Di, 16:00 - 17:30, Hans-Georg-Waeber-Saal)
  • Virtuelle Übung zu Produktion in der Siliciumtechnologie (optional)
    (Übung, 1 SWS, Assistenten, Anmeldung über die Internetseite des Lehrstuhls für Elektronische Bauelemente; zur Verbesserung der Prüfungsvorbereitung LEB-Teil)

Inhalt:

Die Vorlesung „Produktion in der Siliciumtechnologie“ (früher PRIDE 1) behandelt die für die Elektronikproduktion notwendigen Prozesse und Materialien entlang der gesamten reinraumnahen Prozesskette. Dabei wird auf die Bauelementetechnologie und die Prozessschritte zur Fertigung elektronischer Schaltkreise sowie auf die Laserstrahlverfahren Justieren und Trennen/Bohren eingegangen.

Lernziele und Kompetenzen:

Die Studierenden

• lernen die gängigen Fertigungsschritte für mikro- und nanoelektronische Bauelemente kennen und sind in der Lage, die spezifischen Anforderungen an die Prozessgeräte und die Herstellungsbedingungen für integrierte Schaltungen im Reinraum zu beurteilen.

• lernen die in der Elektronikproduktion eingesetzten lasergestützten Fertigungstechnologien Justieren und Trennen/Bohren detailliert kennen und sind in der Lage mit den vermittelten Kenntnissen Konzepte für den Aufbau einer lasergestützten Fertigung von Elektronikkomponenten zu entwickeln.
  

Literatur:

Skript zur Vorlesung

Verwendbarkeit des Moduls / Einpassung in den Musterstudienplan:

1. Mechatronik (Master of Science): 1-3. Semester
   (Po-Vers. 2012 | Masterprüfung | M1-M2 Vertiefungsrichtungen | 10 Fertigungsautomatisierung und Kunststofftechnik)

Studien-/Prüfungsleistungen:

Produktion in der Siliciumtechnologie_

schriftlich oder mündlich, Dauer (in Minuten): 45, benotet

weitere Erläuterungen:
Prüfungsform nach Anmeldungszahl, 30min Prüfung bei mdl. Prüfung

Erstablegung: WS 2012/2013, 1. Wdh.: SS 2013, 2. Wdh.: keine Wiederholung

1. Prüfer:

Lothar Frey

1. Prüfer:

Michael Schmidt