Prozess- und Bauelemente-Simulation2.5 ECTS

Lehrveranstaltungen:

• • Prozess- und Bauelemente-Simulation
    (Vorlesung, 2 SWS, Jürgen Lorenz, Mi, 12:30 - 14:00, Raum n.V.; Mi, 12:30-14:00 im Seminarraum 1 des IISB (Schottkystr.10), terminliche Verlegung nach Absprache möglich; Vorbesprechung: 18.4.2012, 12:30 - 14:00 Uhr)
  • Übungen zu Prozess- und Bauelemente-Simulation (optional)
    (Übung, 2 SWS, Jürgen Lorenz, Mi, 14:15 - 15:45, Raum n.V.; Mi, 14:15-15:45 im Seminarraum 1 des IISB (Schottkystr.10), terminliche Verlegung nach Absprache möglich)

Empfohlene Voraussetzungen:

Keine, ein voriger Besuch der Vorlesung Technologie Integrierter Schaltungen ist jedoch für das bessere Verständnis empfehlenswert

Es wird empfohlen, folgende Module zu absolvieren, bevor dieses Modul belegt wird:

Technologie integrierter Schaltungen (WS 2011/2012)

Inhalt:

In der Halbleitertechnologie wird eine Vielzahl von Prozessschritten zur Herstellung der Bauelemente verwendet. Aufgabe der Prozesssimulation ist die Voraussage vor allem der Geometrien und Dotierungsverteilungen dieser Bauele-mente, woraus dann mithilfe der Bauelementesimulation die elektrischen Eigenschaften abgeleitet werden können. Insgesamt dient die Simulation dem besseren Verständnis der Prozesse und Bauelemente sowie der Reduktion der Entwicklungszeiten und –kosten.
In dieser Vorlesung werden die zur Beschreibung der einzelnen Prozessschritte verwendeten physikalischen Modelle dargestellt, wobei sowohl auf die historische Entwicklung als auch auf den aktuellsten Stand der Forschung eingegangen wird. Zur Auswertung dieser Modelle in ein- und mehrdimensionalen Simulationsprogrammen benötigte Algorithmen werden zusammengefasst. Anhand von Anwendungsbeispielen werden spezielle technologische Effekte und ihre simulationsmäßige Beschreibung diskutiert. Des weiteren werden die Grundlagen der Bauelementesimulation dargestellt. Die Vorlesung schließt mit einer Bestandsaufnahme der in der Industrie verbreitetsten Prozesssimulationsprogramme sowie einem Ausblick auf die weitere Entwicklung des Gebiets sowie seiner Anwendungen.

Lernziele und Kompetenzen:

Die Studierenden

• gewinnen einen Überblich der Methoden der Prozess- und Gerätesimulation (Modelle, Algorithmen, Anwendung)

• lernen die Bauelementesimulation als Verfahren zur „Ausmessung“ der hergestellten Bauelemente kennen

• lernen anhand der Prozess- und Bauelementesimulation die Bedeutung und Anwendung der Simulation in den Ingenieurwissenschaften im Allgemeinen kennen

• haben damit eine gute Grundlage zur schnellen Einarbeitung als qualifizierter Anwender oder zum Einstieg in die Forschung zur Simulation
  

Studien-/Prüfungsleistungen:

Prozess- und Bauelemente-Simulation_

schriftlich oder mündlich, Dauer (in Minuten): 30, benotet

Erstablegung: SS 2012, 1. Wdh.: WS 2012/2013 (nur für Wiederholer), 2. Wdh.: keine Wiederholung

1. Prüfer:

Jürgen Lorenz